(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 20212343 3932.X (22)申请日 2021.12.3 0 (73)专利权人 昆山禾信质谱技 术有限公司 地址 215311 江苏省苏州市昆山市巴城镇 学院路88号 专利权人 广州禾信仪 器股份有限公司 (72)发明人 王攀攀　朱辉　范荣荣　黄晓　 张伟　熊亮　齐彦兵　张涛　 (74)专利代理 机构 华进联合专利商标代理有限 公司 44224 专利代理师 段志 (51)Int.Cl. B08B 7/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 质谱仪及其离 子毯清洗装置 (57)摘要 本实用新型涉及一种质谱仪及其离子毯清 洗装置， 质谱仪包括壳体和离子毯清洗装置， 壳 体内形成有真空腔； 离子毯清洗装置设置在真空 腔内。 离子毯清洗装置包括四极杆、 清洗电极组 件和真空组件， 四极杆内形成有传输通道用于输 入清洗气体； 清洗电极组件和四极杆间隔设置形 成辉光放电区域， 辉光放电区域能够形成辉光放 电并产生清洗离子， 清洗电极组件内形成有清洗 区域， 清洗区域内用于放置离子毯， 清洗离子能 够在清洗区域内运动并扩散至离子毯的表面； 真 空组件用于抽取多余的清洗气体分子， 形成梯度 压差。 清洗离子通过溅射、 分子离子反应等， 去除 离子毯表 面杂质， 真空组件在清洗区域的侧抽能 够排出多余的清洗气体分子， 提高了离子毯清洗 装置的清洗效率。 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 CN 217141537 U 2022.08.09 CN 217141537 U 1.一种离 子毯清洗装置， 其特 征在于， 所述离 子毯清洗装置包括： 四极杆， 所述四极杆内形成有传输通道， 所述传输通道用于 输入清洗气体； 清洗电极组件， 所述清洗电极组件和所述四极杆间隔设置形成辉光放电区域， 所述辉 光放电区域能够形成辉光放电并产生清洗离子， 所述传输通道和所述辉光放电区域相连 通， 所述清洗电极组件内形成有清洗区域， 所述清洗区域和所述辉光放电区域相连通， 所述 清洗区域内用于放置离子毯， 所述清洗离子能够在所述清洗区域内运动并扩散至所述离子 毯的表面； 及 真空组件， 所述真空组件设置在所述清洗区域的一侧， 所述真空组件用于抽取多余的 所述清洗气体分子 。 2.根据权利要求1所述的离子毯清洗装置， 其特征在于， 所述清洗电极组件包括出口电 极和传输电极， 所述出 口电极和所述四极杆间隔设置形成所述辉光放电区域， 所述出 口电 极和所述传输电极 间隔设置形成所述清洗区域， 所述真空组件设置在所述出口电极和所述 传输电极之间。 3.根据权利要求2所述的离子毯清洗装置， 其特征在于， 所述出口电极上开设有输入 口， 所述辉光放电区域通过所述输入口和所述清洗区域相连通， 所述传输电极能够和所述 出口电极形成有效的电场使所述清洗 离子运动至所述离 子毯上。 4.根据权利要求2所述的离子毯清洗装置， 其特征在于， 所述辉光放电区域内的气压范 围为103Pa～104Pa； 和/或 所述清洗区域内的气压范围为1Pa～102Pa。 5.根据权利要求2所述的离子毯清洗装置， 其特征在于， 所述辉光放电区域的电场强度 至所述清洗区域的电场强度整体下降。 6.根据权利要求5所述的离子毯清洗装置， 其特征在于， 所述 四极杆和所述出口电极上 施加直流电压时， 所述四极杆 上的电压和所述出口电极上的电压 差值不超过15 00V。 7.根据权利要求6所述的离子毯清洗装置， 其特征在于， 所述传输电极的 电压范围为 ‑ 500V～500V。 8.根据权利要求1 ‑7中任一项所述的离子毯清洗装置， 其特征在于， 所述 四极杆包括 四 根导杆， 所述 导杆的形状为圆柱形或双曲面的杆状结构， 四根 导杆的电极结构一 致。 9.根据权利要求1 ‑7中任一项所述的离子毯清洗装置， 其特征在于， 还包括流量控制 器， 所述流量控制器用于控制所述清洗气体的流 量恒定。 10.一种质谱仪， 其特 征在于， 所述质谱仪包括： 壳体， 所述壳体内形成有真空腔； 及 如权利要求1 ‑9中任一项所述的离子毯清洗装置， 所述离子毯清洗装置设置在所述真 空腔内。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217141537 U 2质谱仪及其离子毯清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及质谱仪技 术领域， 特别是 涉及质谱仪及其离 子毯清洗装置 。 背景技术 [0002]离子毯(Ioncarpet)是一种重要的离子导向结构， 其是由一系列嵌于硬质PCB表面 的同轴环电极组成， 本质上是一个压缩的离子漏斗， 其中心有一个小孔。 离子毯可以工作在 射频(RF)或者直流(DC)模式下， 具有较高的离子传输效率， 正越来越多的应用于质谱仪的 离子导向结构中。 离子毯在使用过程中， 会吸附一些有机杂质， 如碳氢化合物 等会覆盖在其 表面， 造成表面污染， 随着时间推移， 杂质成分会堆积在离子毯表面， 使电极产生的电场失 真， 影响离子的传输效率， 进而影响质谱仪的灵敏度， 分辨率等性能， 因此需要定期清洗。 传 统的清洗方法如， 溶剂清洗， 超声等， 需要先将仪器停机， 破真空， 将离子毯拆卸下来， 清洗 后， 需要对清洗部件进行烘干， 然后安装， 抽真空。 清洗过程复杂， 需要耗费大量的时间， 且 清洗过程会产生大量的废液， 造成一定的环境负担 。 实用新型内容 [0003]基于此， 有必要针对上述问题， 提供一种便捷高效的质谱仪及其离 子毯清洗装置 。 [0004]一种离子毯清洗装置， 包括四极杆、 清洗电极组件和真空组件， 所述四极杆内形成 有传输通道， 所述传输通道用于输入清洗气体； 所述清洗电极组件和所述四极杆间隔设置 形成辉光放电区域， 所述辉光放电区域能够形成辉光放电并产生清洗离子， 所述传输通道 和所述辉光放电区域相连通， 所述清洗电极组件内形成有清洗区域， 所述清洗区域和所述 辉光放电区域相连通， 所述清洗区域内用于放置离子毯， 所述清洗离子能够在所述清洗区 域内运动并扩散至所述离子毯的表面； 所述真空组件设置在所述清洗区域的一侧， 所述真 空组件用于抽取多余的所述清洗气体分子 。 [0005]进一步地， 所述清洗电极组件包括出口电极和传输电极， 所述出口电极和所述四 极杆间隔设置形成所述辉光放电区域， 所述出口电极和所述传输电极间隔设置形成所述清 洗区域， 所述真空组件中的分子泵或前级泵的侧抽设置在所述出口电极和所述传输电极之 间。 [0006]具体地， 所述出口电极上开设有输入口， 所述辉光放电区域通过所述输入口和所 述清洗区域相连通， 所述传输电极能够和所述出口电极形成有效电场使 所述清洗离子运动 扩散至所述离 子毯上。 [0007]在其中一个实施例中， 所述辉光 放电区域内的气压范围为103Pa～104Pa。 [0008]在其中一个实施例中， 所述清洗区域内的气压范围为1Pa～102Pa。 [0009]在其中一个实施例中， 所述辉光放电区域的电场强度至所述清洗区域的电场强度 整体下降。 [0010]在其中一个实施例中， 所述四极杆和所述出口电极上施加直流电压时， 所述四极 杆上的电压和所述出口电极上的电压 差值不超过15 00V。说　明　书 1/5 页 3 CN 217141537 U 3