(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123398407.9 (22)申请日 2021.12.3 0 (73)专利权人 深圳市晶迅捷科技有限公司 地址 518000 广东省深圳市宝安区航城街 道黄麻布社区簕竹角鸿业工业园7栋 厂房一层 (72)发明人 罗吉如　 (74)专利代理 机构 青海中赢知识产权代理事务 所(普通合伙) 63104 专利代理师 莫文新 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 7/00(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种长方片腐蚀的设备冶具 (57)摘要 本实用新型公开了一种长方片腐蚀的设备 冶具， 属于晶片加工技术领域， 包括底板， 所述底 板的上表 面四角处均固定安装有立柱， 所述立柱 的顶部固定安装有顶板， 几个所述立柱的之间活 动安装有腐蚀盒， 所述底板的上表 面且于腐蚀盒 的对应位置固定安装有液压杆， 所述液压杆的顶 端和腐蚀盒的下表面固定连接， 所述顶板的上表 面设置有转动组件， 通过设置转动组件、 液压杆 和转动舱， 腐蚀完成后， 液压杆缩短使得腐蚀盒 下降， 转动舱从腐蚀盒的内侧脱离， 接通驱动电 机的电源， 驱动电机工作带动转动轴转动， 转动 轴转动带动转动舱转动， 通过转动舱的转动， 使 得转动舱内侧的晶片随着转动， 使得晶片外侧的 碱被甩出， 达到清空转动舱内侧残留碱溶液的效 果。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216574466 U 2022.05.24 CN 216574466 U 1.一种长方片腐蚀的设备冶具， 包括底板(1)， 其特征在于： 所述底板(1)的上表面四角 处均固定安装有立柱(4)， 所述立柱(4)的顶部固定安装有顶板(6)， 几个所述立柱(4)的之 间活动安装有腐 蚀盒(3)， 所述底板(1)的上表面且于腐 蚀盒(3)的对应位置固定安装有液 压杆(2)， 所述液压杆(2)的顶端和腐蚀盒(3)的下表面固定连接， 所述顶板(6)的上表面设 置有转动组件， 所述顶板(6)的下表 面通过转动组件传动连接有转动舱(5)， 所述底板(1)的 一侧固定安装有冲洗组件。 2.根据权利要求1所述的一种长方片腐蚀的设备冶 具， 其特征在于： 所述转动组件包括 驱动电机(7)， 所述驱动电机(7)固定安装有顶板(6)的上表面， 所述驱动电机(7)的输出端 延伸至顶板(6)的下方并传动连接有转动轴(12)， 所述转动舱(5)固定安装于转动轴(12)的 底端。 3.根据权利要求1所述的一种长方片腐蚀的设备冶具， 其特征在于： 所述转动舱(5)的 外侧开设有 若干个漏孔(15)， 所述漏孔(15)的内侧固定安装有 若干个分隔板(14)。 4.根据权利要求1所述的一种长方片腐蚀的设备冶具， 其特征在于： 几个所述立柱(4) 上均开设有凹槽(16)， 所述腐蚀盒(3)的两侧且于几个凹槽(16)的对应位置均设置有滑块 结构(17)， 几个所述滑块结构(17)分别活动卡接 于几个凹槽(16)的内侧。 5.根据权利要求1所述的一种长方片腐蚀的设备冶具， 其特征在于： 所述顶板(6)上固 定安装有分流舱(8)， 所述分流舱(8)的底部延伸至顶板(6)的下方， 所述分流舱(8)的底部 设置有若干个分流口(13)， 所述分流 舱(8)和冲洗组件连通。 6.根据权利要求1所述的一种长方片腐蚀的设备冶 具， 其特征在于： 所述冲洗组件包括 水舱(10)， 所述水舱(10)固定安装于底板(1)的外侧， 所述水舱(10)的内侧固定安装有水泵 (11)， 所述水泵(11)的出水端 固定连接有水管(9)， 所述水管(9)远离水泵(11)的一端和分 流舱(8)固定连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216574466 U 2一种长方片腐蚀的设 备冶具 技术领域 [0001]本实用新型涉及晶片加工技术领域， 更具体地说， 它涉及一种长方片腐蚀的设备 冶具。 背景技术 [0002]晶片加工过程中， 避免会有杂质和毛糙的情况， 需要将长方晶片放置在碱或者酸 内进行浸泡， 使得长方晶片表面 光滑， 方便后续 生产使用。 [0003]但是现有的长方片设备冶具在使用时还是存在一定的问题， 例如现有的冶具在浸 泡腐蚀完成后， 无法将冶具内侧的酸和碱脱离， 增 加了晶片和酸碱的接触时间。 实用新型内容 [0004]针对现有技术存在的不足， 本实用新型的目的在于提供一种长方片腐蚀的设备冶 具， 其具有的特点能够将冶具中的酸和碱甩干 。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供了如下技 术方案： [0006]一种长方片腐蚀的设备冶具， 包括底板， 所述底板 的上表面四角处均 固定安装有 立柱， 所述立柱的顶部固定安装有顶板， 几个所述立柱的之间活动安装有腐蚀盒， 所述底板 的上表面且于腐蚀盒的对应位置固定安装有 液压杆， 所述液压杆的顶端和 腐蚀盒的下表面 固定连接， 所述顶板的上表面设置有转动组件， 所述顶板的下表面通过转动组件传动连接 有转动舱， 所述底板的一侧固定安装有冲洗组件， 所述转动组件包括驱动电机， 所述驱动电 机固定安装有顶板的上表面， 所述驱动电机的输出端延伸至顶板的下方并传动连接有转动 轴， 所述转动舱固定安装于转动轴的底端。 [0007]通过采用上述技术方案， 转动组件可以使得转动舱上残留的碱溶液或者酸溶液被 甩干。 [0008]进一步地， 所述转动舱的外侧开设有若干个漏孔， 所述漏孔的内侧固定安装有若 干个分隔板 。 [0009]通过采用上述技术方案， 转动舱内侧的多个分隔板将长方片分隔， 避免转动舱转 动时， 几个长方片互相碰撞的问题。 [0010]进一步地， 几个所述立柱上均开设有凹槽， 所述腐蚀盒的两侧且于几个凹槽 的对 应位置均设置有滑块结构， 几个所述滑块结构分别活动卡接 于几个凹槽的内侧。 [0011]通过采用上述技术方案， 几个滑块结构分别卡接在几个凹槽 的内侧， 达到对腐蚀 盒的限位效果。 [0012]进一步地， 所述顶板上固定安装有分流舱， 所述分流舱的底部延伸至顶板的下方， 所述分流 舱的底部设置有 若干个分流口， 所述分流 舱和冲洗组件连通。 [0013]通过采用上述 技术方案， 冲洗组件可以将冲洗水输送至分流 舱的内侧。 [0014]进一步地， 所述冲洗组件包括水舱， 所述水舱固定安装于底板的外侧， 所述水舱的 内侧固定安装有水泵， 所述水泵的出水端固定连接有水管， 所述水管远离水泵的一端和分说　明　书 1/3 页 3 CN 216574466 U 3