(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123367219.X (22)申请日 2021.12.2 9 (73)专利权人 有研半导体 硅材料股份公司 地址 101300 北京市顺 义区林河工业 开发 区双河路南侧 (72)发明人 尚锐刚　王永涛　刘建涛　李明飞　 高源　聂飞　 (74)专利代理 机构 北京北新智诚知识产权代理 有限公司 1 1100 专利代理师 刘秀青 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 3/10(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (ESM)同样的发明创造已同日申请发明 专利 (54)实用新型名称 一种多晶硅棒清洗装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种多晶硅棒清洗装置， 包括由滑轮组成的滑轮组、 多晶吊环、 酸槽、 水 槽， 多晶吊环通过软绳经滑轮组连接配重块， 配 重块由气缸驱动可上下移动， 由滑轮组、 配重块 及气缸组成配重系统； 在气缸和配重块的作用 下， 软绳带动多晶吊环上下移动， 实现多晶吊环 配重助力的加载和卸载； 水槽和酸槽相邻并排放 置， 多晶吊环位于水槽和酸槽交界位置的正上 方。 使用该多晶硅棒装置清洗多晶硅棒， 由于配 重抵消了 大部分多晶硅棒重量， 抬起多晶硅棒之 后， 多晶硅棒运动类似于单摆运动和自由落体结 合的效果， 可 实现重量在70 ‑150kg范围内的多晶 硅棒料1秒内完成从酸槽进入水槽的过程， 可完 全避免表 面沾污氧化， 提高了多晶硅棒料清洗质 量。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216679271 U 2022.06.07 CN 216679271 U 1.一种多晶硅棒清洗装置， 其特征在于， 包括由滑轮组成的滑轮组、 多晶吊环、 酸槽、 水 槽， 多晶吊环通过软绳经滑轮组连接配重块， 配重块由气缸驱动可上下移动， 由滑轮组、 配 重块及气缸组成配重系统； 在气缸和配重块的作用下， 软绳带动多晶吊环上下移动， 实现多 晶吊环配重助力的加载和卸载； 水槽和 酸槽相邻并排放置， 多晶吊环位于水槽和酸槽交界 位置的正上 方。 2.根据权利要求1所述的多晶硅棒清洗装置， 其特征在于， 所述水槽上沿位置低于酸槽 上沿位置 。 3.根据权利要求1或2所述的多晶硅棒清洗装置， 其特征在于， 所述滑轮组及多晶吊环 分别为两个， 其中， 两个多晶吊环分别对应于多晶硅棒的两端位置 。 4.根据权利要求1或2所述的多晶硅棒清洗装置， 其特征在于， 所述配重块的重量为可 在30‑100kg内变化， 所述多晶硅棒的重量范围为70 ‑150kg。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216679271 U 2一种多晶硅棒清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及一种多晶硅棒清洗装置， 属于半导体材 料工艺技术领域。 背景技术 [0002]近年来， 随着大直径区熔单晶需求增加， 大直径区熔多晶硅棒料需求也随之而来， 多晶硅棒重量也超出人工搬运所能承受的范围， 传统清洗方法已经不能满足工艺要求。 多 晶硅棒自动清洗设备在实际应用过程中， 依然不能实现多晶硅棒料从酸槽到水槽的快速切 换， 虽然在水槽正上方加入氮气保护和水喷淋喷淋系统， 但也未能完全解决多晶硅棒料表 面氧化问题。 从而影响区熔 单晶品质。 [0003]因此， 有必要对多晶硅棒清洗装置进行改进， 提高多晶硅棒料清洗质量。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种多晶硅棒清洗装置， 以节省人力， 解决多晶搬运 难题， 实现多晶硅棒1秒内从酸槽切换至水槽， 避免多晶表面氧化， 提高多晶清洗质量。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型采取以下技 术方案： [0006]一种多晶硅棒清洗装置， 包括由滑轮 组成的滑轮组、 多晶吊环、 酸槽、 水槽， 多晶吊 环通过软绳经滑轮组连接配重块， 配重块由气缸驱动可上下移动， 由滑轮组、 配重块及气缸 组成配重系统； 在气缸和配重块的作用下， 软绳带动多晶吊环上下移动， 实现多晶吊环配重 助力的加载和卸 载； 水槽和 酸槽相邻并排放置， 多晶吊环位于水槽和酸槽交界位置的正上 方。 [0007]优选地， 所述水槽上沿位置低于酸槽上沿位置， 由此能够使得由多晶吊环吊装的 多晶硅棒 顺利的从酸槽转移到水槽 。 [0008]优选地， 所述滑轮组及多晶吊环分别为两个， 其中， 两个多晶吊环分别对应于多晶 硅棒的两端位置 。 [0009]其中， 所述配重块的重量为可在 30‑100kg内变化， 以适应多晶硅棒重量的变化， 所 述多晶硅棒的重量范围为70 ‑150kg。 [0010]本实用新型的有益效果： [0011]本实用新型的多晶硅棒清洗装置通过增加滑轮配重系统， 由于配重抵消了大部分 多晶硅棒重量， 多晶吊环位于水槽和酸槽中间正上方位置， 因此， 抬起多晶硅棒之后， 多晶 硅棒运动类似于单摆运动和自由落体结合的效果， 可实现重量在70 ‑150kg范围内的多晶硅 棒料1秒内完成从酸槽进入水槽的过程， 可完全避免表面沾污氧化， 并且节省了人力， 解决 了大直径多晶硅棒的快速人工搬运难题， 提高了多晶硅棒料清洗质量。 附图说明 [0012]图1为现有清洗设备的侧视图。 [0013]图2为本实用新型的多晶硅棒清洗装置的侧视图。说　明　书 1/3 页 3 CN 216679271 U 3