(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123364765.8 (22)申请日 2021.12.2 9 (73)专利权人 扬州信尚电子科技有限公司 地址 225000 江苏省扬州市邗江区西湖镇 美湖路9号-17-1 (72)发明人 张玲　 (74)专利代理 机构 北京深川专利代理事务所 (普通合伙) 16058 专利代理师 安媛媛 (51)Int.Cl. H01J 37/317(2006.01) H01J 37/02(2006.01) B08B 1/02(2006.01) B08B 3/10(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种离子注入机用护板 (57)摘要 本实用新型涉及离子注入机技术领域， 具体 公开了一种离子注入机用护板， 包括离子机工艺 腔， 离子机工艺腔内壁顶部固定安装有第一导辊 体， 离子机工艺腔内壁底部固定安装有第二导辊 体， 第一导辊体和第二导辊体外部活动安装有防 护筒体， 离子机工艺腔内壁固定安装有第一限位 座和第二限位座。 本实用新型通过防护筒体对离 子机工艺腔内壁进行防护， 当防护筒体内壁粘附 较多的离子时， 可通过去离子水管往第二限位座 和防护筒体形成的腔体内部充入去离子水， 并且 配合马达电机带动清洗刷体旋动， 可提升防护筒 体内壁的清洁质量， 使用后的去离子水可从排水 管排出， 该结构不需要拆卸离子机工艺腔和防护 筒体， 并且不需要停机便可清理防护筒体内壁粘 附的离子。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216671557 U 2022.06.03 CN 216671557 U 1.一种离子注入机用护板， 包括离子机工艺腔(1)， 其特征在于： 所述离子机工艺腔(1) 内壁顶部固定安装有第一导辊体(2)， 所述离子机工艺腔(1)内壁底部固定安装有第二导辊 体(7)， 所述第一导辊体(2)和第二导辊体(7)外部活动安装有防护筒体(3)， 所述离子机工 艺腔(1)内壁固定安装有第一限位座(4)和第二限位座(5)， 所述第二限位座(5)底部固定安 装有马达电机(6)， 所述马达电机(6)的电机轴固定安装有清洗刷体(16)， 所述第二限位座 (5)底部固定安装有 水密封轴承板(14)， 所述离子机工艺腔(1)内壁底部两侧均开设有通孔 (15)， 所述离子机工艺腔(1)外部连通安装有去离子水管(11)和排水管(13)， 所述去离子水 管(11)中部固定安装有电磁阀(12)， 所述离子机工艺腔(1)内壁底部固定安装有安装架 (9)， 所述 安装架(9)外 部固定安装有电机(10)。 2.根据权利要求1所述的一种离子注入机用护板， 其特征在于： 所述防护筒体(3)外壁 与第一导辊体(2)和第二 导辊体(7)的外 部接触。 3.根据权利要求1所述的一种离子注入机用护板， 其特征在于： 所述第二限位座(5)位 于防护筒体(3)的内部， 第一限位 座(4)位于防护筒体(3)的外 部两侧。 4.根据权利要求1所述的一种离子注入机用护板， 其特征在于： 所述清洗刷体(16)外部 与防护筒体(3)的内壁相接触。 5.根据权利要求1所述的一种离子注入机用护板， 其特征在于： 所述电机(10)的电机轴 固定安装有摩擦辊(8)， 摩擦辊(8)与防护筒体(3)外壁相接触。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216671557 U 2一种离子注入机用护板 技术领域 [0001]本实用新型 涉及离子注入机技 术领域， 具体为 一种离子注入机用护板 。 背景技术 [0002]离子注入机由离子源、 离子引出和质量分析器、 加速管、 扫描系统、 工艺腔五部分 组成， 离子引出是在工艺腔 内部， 是利用离子源中灯丝产生的热电子在电场的作用下轰击 气体分子， 使之电离产生需要的离子， 从而通过气流带动离子注入所需区域内， 工艺腔 长期 使用时会粘附较多的离子， 需要定期清洁， 较为麻烦， 所以我们提出一种离子注入机用护 板。 [0003]现有专利(公告号： CN212725222U)， 一种离子注入机用护板， 包括若干用于遮挡离 子注入机工艺腔内壁的单元板， 若干所述单元板可拆卸的设于工艺腔 内。 本实用新型还公 开一种离子注入机， 包括工艺腔， 所述工艺腔内可拆卸的设有护板 。 [0004]在实现本实用新型过程中， 发明人发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解 决； 上述装置虽然设置护板， 通过护板吸附离子， 但仍然需要停机取下护板进行清洁， 此时 离子注入机无法工作， 使得离 子注入机的工作效率较低。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的在于提供一种离子注入机用护板， 解决了背景技术中所提出的 问题。 [0006]为实现上述目的， 本 实用新型提供如下技术方案： 一种离子注入机用护板， 包括离 子机工艺腔， 离子机工艺腔 内壁顶部固定安装有第一导辊体， 离子机工艺腔 内壁底部固定 安装有第二导辊体， 第一导辊体和第二导辊体外部活动安装有防护筒体， 离子机工艺腔 内 壁固定安装有第一限位座和第二限位座， 第二限位座底部固定安装有马达电机， 马达电机 的电机轴固定安装有清洗刷体， 第二限位座底部固定安装有水密封轴承板， 离子机工艺腔 内壁底部两侧均开设有通孔， 离子机工艺腔外部连通安装有去离子水管和排水管， 去离子 水管中部固定安装有电磁阀， 离子机工艺腔 内壁底部固定安装有安装架， 安装架外部固定 安装有电机 。 [0007]作为本实用新型的一种优选实施方式， 防护筒体外壁与第一导辊体和第二导辊体 的外部接触。 [0008]作为本实用新型的一种优选实施方式， 第二限位座位于防护筒体的内部， 第一限 位座位于防护筒体的外 部两侧。 [0009]作为本实用新型的一种优选实施方式， 清洗刷体外 部与防护筒体的内壁相接触。 [0010]作为本实用新型的一种优选实施方式， 电机 的电机轴固定安装有摩擦辊， 摩擦辊 与防护筒体外壁相接触。 [0011]与现有技 术相比， 本实用新型的有益效果如下： [0012]1.本实用新型通过防护筒体对离子机工艺腔内壁进行防护， 当防护筒体内壁粘附说　明　书 1/3 页 3 CN 216671557 U 3