(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123362159.2 (22)申请日 2021.12.2 9 (73)专利权人 英乐威环保科技 （常州） 有限公司 地址 213000 江苏省常州市新北区罗溪镇 黄河西路718号 (72)发明人 魏小刚　游贤敏　 (74)专利代理 机构 北京市惠 诚律师事务所 11353 专利代理师 周理工 (51)Int.Cl. B08B 3/04(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 23/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种具有烘干效果的硅片清洗装置 (57)摘要 本实用新型提供一种具有烘干效果的硅片 清洗装置， 属于硅片清洗技术领域， 包括清洗舱， 清洗舱内安装有清洗池， 清洗池内储存有清洗 液， 清洗池的上侧设置有下置盒、 上置盒和U形 架， 上置盒的一侧通过铰轴活动连接于下置盒， U 形架位于上置盒的上侧， U形架上设置有转动组 件， 转动组件用于带动下置盒和上置盒旋转， 清 洗舱上设置有升降组件， 升降组件用于带动下置 盒和上置盒上下移动； 实现快速清洗， 提高清洗 效率， 同时下置盒和上置盒结合呈圆柱形， 硅片 放置于下置盒和上置盒之间的卡槽， 限制硅片的 位置， 避免硅片堆叠在一起， 保证足够的清洗效 果， 更完全的清洗 。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 216460483 U 2022.05.10 CN 216460483 U 1.一种具有烘干效果的硅片清洗装置， 包括清洗舱(1)， 其特征在于， 所述清洗舱(1)内 安装有清洗池(2)， 所述清洗池(2)内储存有清洗液， 所述清洗池(2)的上侧设置有下置盒 (3)、 上置盒(4)和 U形架(5)， 所述上置盒(4)的一侧通过铰轴活动 连接于下置盒(3)， 所述U 形架(5)位于上置盒(4)的上侧， 所述U形架(5)上设置有转动组件， 所述转动组件用于带动 下置盒(3)和上置盒(4)旋转， 所述清洗舱(1)上设置有升降组件， 所述升降组件用于带动下 置盒(3)和上置盒(4)上 下移动。 2.根据权利要求1所述的一种具有烘干效果的硅片清洗装置， 其特征在于， 所述U形架 (5)的两侧均固定连接有轴套(7)， 所述下置盒(3)的两端转动贯穿两个于轴套(7)， 所述下 置盒(3)和上置盒(4)的另一侧之间设置有锁扣(6)。 3.根据权利要求2所述的一种具有烘干效果的硅片清洗装置， 其特征在于， 所述转动组 件包括减速电机(8)、 主动轮(9)、 从动轮(10)和皮带(11)， 所述减速电机(8)固定连接于U形 架(5)的上端， 所述主动轮(9)固定连接于减速电机(8)的输出端， 所述 从动轮(10)固定连接 于下置盒(3)的一端， 所述皮带(1 1)传动连接 于主动轮(9)和从动轮(10)之间。 4.根据权利要求3所述的一种具有烘干效果的硅片清洗装置， 其特征在于， 所述U形架 (5)的上端固定连接有安装架(14)， 所述安装架(14)上固定连接有两个滑套(16)， 所述清洗 舱(1)的上下内壁之间固定连接有两个长杆(15)， 两个所述滑套(16)分别滑动连接于两个 长杆(15)的表面。 5.根据权利要求4所述的一种具有烘干效果的硅片清洗装置， 其特征在于， 所述升降组 件包括电动伸缩 杆(17)， 所述电动伸缩杆(17)固定连接于清洗舱(1)的上内壁， 所述电动伸 缩杆(17)的输出端固定连接 于安装架(14)。 6.根据权利要求5所述的一种具有烘干效果的硅片清洗装置， 其特征在于， 所述下置盒 (3)和上置盒(4)均镂空设计， 所述下置盒(3)和上置盒(4)的内壁均固定连接有多个卡槽 (12)， 对应的两个卡槽(12)之间放置有硅片(13)， 所述清洗舱(1)的上内壁固定连接有烘干 机(18)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216460483 U 2一种具有烘干 效果的硅片清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型属于硅片清洗技术领域， 具体涉及一种具有烘干效果的硅片清洗装 置。 背景技术 [0002]在米粒大的硅片上， 已能集成16万个晶体管， 这是科学技术进步的又一个里程碑， 地壳中含量达25.8 ％的硅元素， 为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。 由于硅元素是地 壳中储量最丰富的元素之一， 对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言， 储量 的优势也是硅成为 光伏主要材料的原因之一。 [0003]目前一般采用硅片清洗槽完成对硅片表面的清洗， 即将装有硅片的花篮通过抓手 放入槽体中通过清洗液将硅片表层的杂质除去， 此种方式硅片容易堆叠在一起， 从而造成 清洗不够完全， 清洗效率较差 。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种具有烘干效果的硅片清洗装置， 旨在 解决现有技 术中采用硅片清洗槽完成对硅片表面的清洗， 即将装有硅片的花篮通过抓手放入槽体中通 过清洗液将硅片表层的杂质除去， 此种方式硅片容易堆叠在一起， 从而造成清洗不够完全， 清洗效率较差的问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技 术方案： [0006]一种具有烘干效果的硅片清洗装置， 包括清洗舱， 所述清洗舱内安装有清洗池， 所 述清洗池内储存有清洗液， 所述清洗池的上侧设置有下置盒、 上置盒和U形架， 所述上置盒 的一侧通过铰轴活动连接于下置盒， 所述U形架位于上置盒的上侧， 所述U形架上设置有转 动组件， 所述转动组件用于带动下置盒和上置盒旋转， 所述清洗舱上设置有升降组件， 所述 升降组件用于带动下置盒和上置盒上 下移动。 [0007]作为本实用新型一种优选的方案， 所述U形架的两侧均固定连接有轴套， 所述下置 盒的两端转动贯 穿两个于轴套， 所述下置盒和上置盒的另一侧之间设置有锁扣。 [0008]作为本实用新型一种优选的方案， 所述转动组件包括减速电机、 主动轮、 从动轮和 皮带， 所述减速电机固定连接于U形架的上端， 所述主动轮固定连接于减速电机的输出端， 所述从动轮固定连接 于下置盒的一端， 所述皮带传动连接 于主动轮和从动轮之间。 [0009]作为本实用新型一种优选的方案， 所述U形架的上端固定连接有安装架， 所述安装 架上固定连接有两个滑套， 所述清洗舱的上下内壁之间固定连接有两个长杆， 两个所述滑 套分别滑动连接 于两个长杆的表面。 [0010]作为本实用新型一种优选 的方案， 所述升降组件包括电动伸缩杆， 所述电动伸缩 杆固定连接 于清洗舱的上内壁， 所述电动伸缩杆的输出端固定连接 于安装架。 [0011]作为本实用新型一种优选 的方案， 所述下置盒和上置盒均镂空设计， 所述下置盒 和上置盒的内壁均固定连接有多个卡槽， 对应的两个卡槽之间放置有硅片， 所述清洗舱的说　明　书 1/4 页 3 CN 216460483 U 3