(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123390112.7 (22)申请日 2021.12.2 9 (73)专利权人 硅密 （常州） 电子设备有限公司 地址 213000 江苏省常州市新北区新科路 21号 (72)发明人 卡尔·罗伯特·休斯特　 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B08B 3/10(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种防硅晶片破损的清洗装置 (57)摘要 本实用新型提供了一种防硅晶片破损的清 洗装置， 包括横移架、 活动安装在横移架上的搬 运框以及安装在搬运框上的花篮组件， 横移架中 设置有若干容置空腔， 容置空腔内活动安装有处 理模组， 花篮 组件包括固定架、 操控螺杆、 承 载花 篮以及联动件， 承载花篮对应处理模组设置， 联 动件包括安装在固定架上的固定套筒、 可转动的 套设至固定套筒上的驱动轮以及套设在驱动轮 上的驱动条带， 驱动轮的内侧配合套设至操控螺 杆上， 驱动条带驱使驱动轮转动， 从而驱使操控 螺杆相对固定架产生移动， 采用驱动轮控制操控 螺杆， 控制承载花篮中硅晶片进出处理模组， 通 过操控螺杆的控制， 可保证硅晶片平稳进入处理 模组中， 避免硅晶片在清洗过程中发生碰撞破 损。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217444343 U 2022.09.16 CN 217444343 U 1.一种防硅晶片破损的清洗装置， 其特征在于： 包括横移架、 活动 安装在所述横移架上 的搬运框以及安装在所述搬运框上 的花篮组件， 所述横移架中设置有若干容置空腔， 所述 容置空腔 内活动安装有处理模组， 所述搬运框可沿所述横移架滑动， 所述花篮组件包括固 定安装在所述搬运框上 的固定架、 活动穿插在所述固定架上 的操控螺杆、 安装在所述操控 螺杆上的承载花篮以及固定安装在所述固定架上的联动件， 所述承载花篮对应所述处理模 组设置， 所述联动件包括安装在所述固定架上 的固定套筒、 可转动的套设至所述固定套筒 上的驱动轮以及套设在所述驱动轮上的驱动条带， 所述驱动轮的内侧配合套设至所述操控 螺杆上， 所述驱动条带驱使所述驱动轮转动， 从而驱使所述操控螺杆相对所述固定架产生 移动。 2.根据权利要求1所述的一种防硅晶片破损的清洗装置， 其特征在于： 所述操控螺杆上 开有止转槽， 所述止转槽内穿插有止转弯 柱， 所述止转弯 柱固定安装至所述固定架上。 3.根据权利要求1所述的一种防硅晶片破损的清洗装置， 其特征在于： 所述驱动轮上开 有驱动环槽， 所述驱动条带张紧套设至所述驱动环槽内， 所述驱动条带呈环形结构， 所述驱 动条带可控制所述驱动轮在所述固定架上转动。 4.根据权利要求1所述的一种防硅晶片破损的清洗装置， 其特征在于： 所述固定架呈十 字板状结构， 所述固定架的端部均固定 至所述搬运框上。 5.根据权利要求4所述的一种防硅晶片破损的清洗装置， 其特征在于： 所述操控螺杆穿 插在所述固定架的中间位置， 所述承载花篮安装在所述操控螺杆上远离所述固定架的端 部。 6.根据权利要求1所述的一种防硅晶片破损的清洗装置， 其特征在于： 所述横移架包括 隔板， 所述 容置空腔由所述隔板间隔形成。 7.根据权利要求6所述的一种防硅晶片破损的清洗装置， 其特征在于： 所述横移架还包 括长杆和 立杆， 所述长杆垂直连接在所述隔板的边缘上， 所述立杆对应所述隔板固定在所 述长杆之间。 8.根据权利要求4所述的一种防硅晶片破损的清洗装置， 其特征在于： 所述搬运框包括 支柱以及安装在所述支柱上 的机框， 所述支柱可活动地安装在所述横移架上， 所述固定架 固定安装在所述机 框上。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217444343 U 2一种防硅晶片破损的清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及电子元件处理技术领域， 尤其涉及一种防硅晶片破损的清洗装 置。 背景技术 [0002]在对硅晶片进行清洗时， 硅晶片需要按照工艺顺序， 依次浸泡各种清洗溶液， 将杂 质从硅晶片上置换清理， 在经过烘干后即完成硅晶片的清理加工， 而在清洗过程中， 硅晶片 需要多次放入清洗烘干的容器中， 在集中放入时， 由于清洗花篮容器中硅晶片数量较多， 取 放盛装硅晶片的花篮容器时， 花篮容器自重过大， 极易发生摆动， 碰撞到清洗容器的腔壁 上， 导致花篮容器发生变形， 影响硅晶片的清洗效率。 实用新型内容 [0003]本实用新型要解决的技术问题是： 盛放硅晶片的花篮容器在上下搬运的过程容易 摆动碰撞至清洗容器的腔壁上。 [0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是： 一种防硅晶片破损的清洗装 置， 包括横移架、 活动安装在所述横移架上的搬运框以及安装在所述搬运框上的花篮组件， 所述横移架中设置有若干容置空腔， 所述容置空腔 内活动安装有处理模组， 所述搬运框可 沿所述横移架滑动， 所述花篮组件包括固定安装在所述搬运框上 的固定架、 活动穿插在所 述固定架上的操控螺杆、 安装在所述操控螺杆上的承载花篮以及固定安装在所述固定架上 的联动件， 所述承载花篮对应所述处理模组设置， 所述联动件包括安装在所述固定架上 的 固定套筒、 可转动的套设至所述固定套筒上的驱动轮以及套设在所述驱动轮上的驱动条 带， 所述驱动轮的内侧配合套设至所述操控螺杆上， 所述 驱动条带驱使 所述驱动轮转动， 从 而驱使所述操控螺杆相对所述固定架产生移动。 [0005]进一步的， 所述操控螺杆上开有止转槽， 所述止转槽内穿插有止转弯柱， 所述止转 弯柱固定安装至所述固定架上。 [0006]进一步的， 所述驱动轮上开有驱动环槽， 所述驱动条带张紧套设至所述驱动环槽 内， 所述驱动条 带呈环形结构， 所述驱动条 带可控制所述驱动轮在所述固定架上转动。 [0007]进一步的， 所述固定架呈十字板状结构， 所述固定架的端部均 固定至所述搬运框 上。 [0008]进一步的， 所述操控螺杆穿插在所述固定架的中间位置， 所述承载花篮安装在所 述操控螺杆 上远离所述固定架的端部 。 [0009]进一步的， 所述横移 架包括隔板， 所述 容置空腔由所述隔板间隔形成。 [0010]进一步的， 所述横移架还包括长杆和立杆， 所述长杆垂直连接在所述隔板 的边缘 上， 所述立杆对应所述隔板固定在所述长杆之间。 [0011]进一步的， 所述搬运框包括支柱以及安装在所述支柱上的机框， 所述支柱可活动 地安装在所述横移 架上， 所述固定架固定安装在所述机 框上。说　明　书 1/4 页 3 CN 217444343 U 3