(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123385661.5 (22)申请日 2021.12.2 9 (73)专利权人 苏州普伊特自动化系统有限公司 地址 215106 江苏省苏州市吴中区临湖镇 浦庄大道 2988号3栋厂房一层 (72)发明人 张淋　许亚琴　 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种硅片工艺槽在线清洗组件 (57)摘要 本实用新型公开了一种硅片工艺槽在线清 洗组件， 包括一级进水管路、 二级进水管路及喷 水管路， 喷水管路与反应器一一对应设置； 一级 进水管路通过一级进水管夹卡接固定在槽体内 壁， 二级进水管路通过二级进水管夹卡接固定在 槽体内， 喷水管路通过喷水管夹卡接固定在反应 器上； 一级进水管路上设置有气动阀及手动调节 阀并； 喷水管路上沿轴向开设有至少一排对应 反 应器表面的喷水孔。 本实用新型使用时预先通过 手动调节阀打开一级进水管路， 并通过PLC控制 器控制气动阀自动的控制喷水管路的开关， 在需 要清洗反应器时可以通过一键控制， 节省了人力 和时间， 大大降低了成本， 提高工作效率， 并有效 保证了反应器上无结晶残留。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216574463 U 2022.05.24 CN 216574463 U 1.一种硅片工艺槽在线清洗组件， 其特征在于， 包括一级进水管路(10)， 与所述一级进 水管路(10)连通的多组并列的二级进水管路(20)， 以及分别与对应组所述二级进水管路 (20)连通的多根并列的喷水 管路(30)， 所述喷水 管路(30)与反应 器(40)一 一对应设置； 所述一级进水管路(10)通过设置在槽体内壁的一级进水管夹(13)卡接固定， 所述二级 进水管路(20)通过设置在槽体内壁的二级进水管夹(21)卡接固定， 所述喷水管路(30)通过 设置在反应 器(40)上的喷水 管夹(31)卡接固定； 所述一级进水管路(10)上设置有气动阀(11)及手动调节阀(12)并连接至用于对应槽 体硅片喷淋的主 进水管路； 所述喷水 管路(30)上沿轴向开设有至少一 排对应反应 器(40)表面的喷水孔。 2.根据权利要求1所述的一种硅片工艺槽在线清洗组件， 其特征在于， 所述喷水管路 (30)通过喷水管连接器(22)连接在所述二级进水管路(20)上， 以便于所述喷水管路(30)的 独立调节及维护更 换。 3.根据权利要求2所述的一种硅片工艺槽在线清洗组件， 其特征在于， 所述喷水管连接 器(22)内设置有轴承座， 所述 喷水管路(30)与所述轴承座密封卡接， 以实现所述喷水管路 (30)相对于所述 二级进水管路(20)的径向转动调节。 4.根据权利要求1所述的一种硅片工艺槽在线清洗组件， 其特征在于， 所述一级进水管 路(10)的进 水端还设置有 过滤嘴， 以用于滤除颗粒杂质并防止颗粒杂质堵塞 所述喷水管路 (30)上的喷水孔。 5.根据权利要求1所述的一种硅片工艺槽在线清洗组件， 其特征在于， 所述喷水管夹 (31)包括对称设置的两块夹块(311)， 两块所述夹块(311)的一端均通过转轴(312)安装在 反应器(40)上， 两块所述夹块(311)之间设置有复位弹簧(313)， 两块所述夹块(311)的另一 端均设置有对应所述喷水 管夹(31)的卡槽(314)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216574463 U 2一种硅片工艺槽在线清洗组件 技术领域 [0001]本实用新型涉及光伏电池片生产设备技术领域， 特别涉及一种硅片工艺槽在线清 洗组件。 背景技术 [0002]在进行光伏电池片生产时， 硅片需要经过清洗制绒等多道生产工艺， 清洗制绒时， 可以采用在工艺槽内设置反应器， 当硅片经过反应器时， 由反应器激发槽内药液在硅片表 面形成需要的绒 面。 [0003]由于工艺槽内 的药液时间长了会产生结晶， 如果在反应器表面形成结晶则会减小 反应器与硅片的接触面积， 从而使 得反应变得很慢， 因此需要定期清理反应器表面的结晶， 而由于工艺槽的槽体大而且多， 所以清洗比较困难， 费时且耗人工。 且常规清洗采用纯净 水， 而纯净水会降低槽内药 液浓度而导 致反应效果变差 。 实用新型内容 [0004]为解决上述技术问题， 本实用新型提供了一种硅片工艺槽在线清洗组件， 包括一 级进水管路， 与所述一级进水管路连通的多组并列的二级进水管路， 以及分别与对应组所 述二级进水管路连通的多根并列的喷水 管路， 所述喷水 管路与反应 器一一对应设置； [0005]所述一级进水管路通过设置在槽体内壁的一级进水管夹卡接固定， 所述二级进水 管路通过设置在槽体内壁的二级进水管夹卡接固定， 所述喷水管路通过设置在反应器上的 喷水管夹卡接固定； [0006]所述一级进水管路上设置有气动阀及手动调节阀并连接至用于对应槽体硅片喷 淋的主进水管路； [0007]所述喷水 管路上沿轴向开设有至少一 排对应反应 器表面的喷水孔。 [0008]其中， 所述喷水管路通过喷水管连接器连接在所述二级进水管路上， 以便于所述 喷水管路的独立调节及维护更 换。 [0009]进一步的， 所述喷水管连接器内设置有轴承座， 所述喷水管路与所述轴承座密封 卡接， 以实现所述喷水 管路相对于所述 二级进水管路的径向转动调节。 [0010]进一步的， 所述一级进水管路的进水端还设置有过滤嘴， 以用于滤除颗粒杂质并 防止颗粒杂质堵塞所述喷水 管路上的喷水孔。 [0011]其中， 所述喷水管夹包括对称设置 的两块夹块， 两块所述夹块的一端均通过转轴 安装在反应器上， 两块所述夹块之间设置有复位弹簧， 两块所述夹块的另一端均设置有对 应所述喷水 管夹的卡槽 。 [0012]通过上述技术方案， 本实用新型提供的在线清洗组件， 由于喷水管路是通过喷水 管夹卡接固定在反应器上 的， 只要调整好喷水管路的高度和距离， 就可以通过调整喷水管 路角度来调整清洗角度， 从而保证 喷水管路能精准地清洗反应器； 由于喷水管路的主进水 连的是喷洒的主进 水， 使用时预先通过手动调节阀打开一级进 水管路， 并通过PLC控制器控说　明　书 1/3 页 3 CN 216574463 U 3