(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123383340.1 (22)申请日 2021.12.2 9 (73)专利权人 硅密 （常州） 电子设备有限公司 地址 213000 江苏省常州市新北区新科路 21号 (72)发明人 卡尔·罗伯特·休斯特　 (51)Int.Cl. B08B 3/10(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种硅晶片匀速运输的清洗装置 (57)摘要 本实用新型提供了一种硅晶片匀速运输的 清洗装置， 包括横移架、 搬运框以及花篮组件， 横 移架上设置有若干容置空腔， 容置空腔内 收容有 处理模组， 横移架上还安装有对应处理模组设置 的码片， 横移架上安装有导轨， 横移架上还安装 有驱动丝杆， 搬运框配合穿插在驱动丝杆上， 驱 动丝杆转动后可带动搬运框沿导轨移动， 花篮组 件用于承 载硅晶片， 花篮 组件活动安装在搬运框 上， 搬运框上还安装有定位感应器， 定位感应器 可读出码片的信息， 定位 感应器控制驱动丝杆的 转动行程， 通过定位感应器和码片 控制搬运框在 横移架上的位置， 从而可控制花篮组件中硅晶片 的运动行程， 实现清洗过程中平稳运输硅晶片的 目的。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 216911276 U 2022.07.08 CN 216911276 U 1.一种硅晶片匀速运输的清洗装置， 其特征在于： 包括横移架、 可移动的安装在所述横 移架上的搬运框 以及安装在所述搬运框上的花篮组件， 所述横移架上设置有若干容置空 腔， 所述容置空腔 内收容有处理模组， 所述横移架上还安装有对应所述处理模组设置的码 片， 所述横移架上安装有导轨， 所述横移架上还安装有平行于所述导轨的驱动丝杆， 所述搬 运框配合穿插在所述驱动丝杆上， 所述驱动丝杆转动后可带动所述搬运框沿所述导轨移 动， 所述花篮组件用于承载硅晶片， 所述花篮组件活动安装在所述搬运框上， 所述搬运框上 还安装有定位感应器， 所述定位感应器可读出所述码片的信息， 所述定位感应器控制所述 驱动丝杆的转动行程。 2.根据权利要求1所述的一种硅晶片匀速运输的清洗装置， 其特征在于： 所述驱动丝杆 平行设置在所述导轨的上方， 所述驱动丝杆 的两端均固定安装有转板， 所述驱动丝杆可转 动的穿插至所述 转板中。 3.根据权利要求1所述的一种硅晶片匀速运输的清洗装置， 其特征在于： 所述横移架中 设置有若干隔板， 所述 容置空腔由所述隔板间隔形成。 4.根据权利要求3所述的一种硅晶片匀速运输的清洗装置， 其特征在于： 所述横移架还 包括控制 板， 所述控制 板单侧封堵所述隔板形成的所述容置空腔， 所述码片对应所述容置 空腔设置在所述控制板上。 5.根据权利要求1所述的一种硅晶片匀速运输的清洗装置， 其特征在于： 所述横移架的 底部安装有导向底板， 所述导轨固定安装在所述导向底板上， 所述搬运框可移动的安装至 所述导轨上。 6.根据权利要求3所述的一种硅晶片匀速运输的清洗装置， 其特征在于： 所述横移架还 包括长杆和立杆， 所述长杆有四个， 所述长杆相互平行设置， 所述立杆对应所述隔板设置， 所述立杆的两端分别设置在相邻的两个所述长杆 上。 7.根据权利要求4所述的一种硅晶片匀速运输的清洗装置， 其特征在于： 所述搬运框包 括若干支柱以及安装在所述支柱上 的机框， 所述支柱可滑动的安装至所述导轨上， 所述机 框安装在所述支 柱上远离所述 导轨的端部 。 8.根据权利要求7所述的一种硅晶片匀速运输的清洗装置， 其特征在于： 所述支柱之间 安装有定位板， 所述定位板对应所述控制板设置， 所述定位感应 器安装在所述定位板上。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216911276 U 2一种硅晶片匀速运输的清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及电子元件处理技术领域， 尤其涉及一种硅晶片匀速运输的清洗装 置。 背景技术 [0002]在对硅晶片进行清洗时， 硅晶片需要按照工艺顺序， 依次浸泡各种清洗溶液， 将杂 质从硅晶片上置换清理， 在经过烘干后即完成硅晶片的清理加工， 而在清理加工的过程中， 硅晶片需要多次搬运， 而在搬运的过程中， 由于硅晶片自身质地脆硬， 在搬运过程中往往会 因为操作人员的不熟练或力量不 足， 导致硅晶片振 荡， 相互碰撞后破损， 影响硅晶片的清洗 效率。 实用新型内容 [0003]本实用新型要解决的技术问题是： 硅 晶片集中搬运时容易发生碰撞破损， 影响硅 晶片的清洗效率。 [0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是： 一种硅晶片匀速运输的清洗装 置， 包括横移架、 可移动的安装在所述横移架上 的搬运框以及安装在所述搬运框上 的花篮 组件， 所述横移架上设置有若干容置空腔， 所述容置空腔内 收容有处理模组， 所述横移架上 还安装有对应所述处理模组设置的码片， 所述横移架上安装有导轨， 所述横移架上还安装 有平行于所述导轨的驱动丝杆， 所述搬运框配合穿插在所述驱动丝杆上， 所述驱动丝杆转 动后可带动所述搬运框沿所述导轨移动， 所述花篮组件用于承载硅晶片， 所述花篮组件活 动安装在所述搬运框上， 所述搬运框上还安装有定位感应器， 所述定位感应器可读出所述 码片的信息， 所述定位感应 器控制所述驱动丝杆的转动行程。 [0005]进一步的， 所述驱动丝杆平行设置在所述导轨 的上方， 所述驱动丝杆的两端均 固 定安装有转板， 所述驱动丝杆 可转动的穿插至所述 转板中。 [0006]进一步的， 所述横移 架中设置有 若干隔板， 所述 容置空腔由所述隔板间隔形成。 [0007]进一步的， 所述横移架还包括控制板， 所述控制板单侧封堵所述隔板形成的所述 容置空腔， 所述码片对应所述 容置空腔设置在所述控制板上。 [0008]进一步的， 所述横移架的底部安装有导向底板， 所述导轨固定安装在所述导向底 板上， 所述搬运框可移动的安装至所述 导轨上。 [0009]进一步的， 所述横移架还包括长杆和立杆， 所述长杆有四个， 所述长杆相互平行设 置， 所述立杆对应所述隔板设置， 所述 立杆的两端分别设置在相邻的两个所述长杆 上。 [0010]进一步的， 所述搬运框包括若干支柱以及安装在所述支柱上的机框， 所述支柱可 滑动的安装至所述 导轨上， 所述机 框安装在所述支 柱上远离所述 导轨的端部 。 [0011]进一步的， 所述支柱之间安装有定位板， 所述定位板对应所述控制板设置， 所述定 位感应器安装在所述定位板上。 [0012]本实用新型的有益效果是， 在横移架上安装码片， 搬运框上对应安装读码器， 利用说　明　书 1/4 页 3 CN 216911276 U 3