(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211197960.2 (22)申请日 2022.09.29 (71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司 地址 201203 上海市浦东 新区康桥 东路298 号1幢1060室 (72)发明人 陈广　许伟　周菁　郑小平　 徐秋晨　钱春霞　陆晓琴　 (74)专利代理 机构 上海浦一知识产权代理有限 公司 3121 1 专利代理师 郭四华 (51)Int.Cl. G06Q 10/10(2012.01) G06Q 50/04(2012.01) (54)发明名称 半导体动态生产周期数据收集方法和装置 (57)摘要 本发明公开了一种半导体动态生产周期数 据收集方法， 包括： 步骤一、 获取各已作业工件在 各工序上作业的历史出货记录。 步骤二、 进行生 产周期计算， 包括： 步骤21、 计算相同产品在各相 同工艺阶段的相同工艺设备群中的作业时间、 等 待时间和停滞时间的平均值并相加形成第一生 产周期。 步骤22、 变换产品、 工艺平台或工艺阶段 计算相同的工艺设备群的作业时间、 等待时间和 停滞时间的平均值并相加形成辅助生产周期。 步 骤三、 按照优 先填充原则进行生产周期融合得到 未作业工件在各工序上的生产周期预测值。 本发 明还公开了一种半导体动态生产周期数据收集 装置。 本发明能进行多维度数据融合， 能有效保 证在任何情况下， 工件在各道工序上的生产周期 都能近似计算。 权利要求书2页 说明书8页 附图2页 CN 115481982 A 2022.12.16 CN 115481982 A 1.一种半导体动态生产周期数据收集方法， 其特 征在于， 包括如下步骤： 步骤一、 获取生产线上各已作业工件在各工序上作业的历史出货记录并形成第 一数据 集； 步骤二、 进行生产周期计算， 包括： 步骤21、 根据 所述第一数据集的数据计算相同产品在各相同工艺阶段的相同工艺设备 群中的作业时间、 等待时间和停滞时间的平均值并将所述作业时间、 所述等待时间和所述 停滞时间的平均值相加形成第一 生产周期； 步骤22、 根据所述第一数据集的数据并变换所述产品、 工艺平台或所述工艺阶段计算 相同的所述工艺设备群的作业时间、 等待时间和停滞时间的平均值并将所述作业时间、 所 述等待时间和所述停滞时间的平均值相加形成辅助生产周期； 步骤三、 按照优先填充原则进行生产周期融合得到未作业工件在各工序 上的生产周期 预测值； 所述优先填充原则是按照所述产品、 所述工艺平台、 所述工艺阶段和所述工艺设备群 中的类型相同数量的多少来确定， 类型相同数量越多、 优先等级越高， 所述第一生产周期具 有最高优先等级； 对于所述未作业工件的一个所述工序， 存在所述第一生产周期时， 采用所述第一生产 周期作为所述生产周期预测 值； 不存在所述第一生产周期时， 按照所述优先填充原则选定 所述辅助生产周期作为所述 生产周期预测值。 2.如权利要求1所述的半导体动态生产周期数据收集方法， 其特征在于： 步骤22中， 所 述辅助生产周期包括第一辅助生产周期， 采用如下分步骤得到： 步骤22a、 根据所述第一数据集的数据计算相同所述工艺平台的所有所述产品在各相 同的所述工艺阶段的相同工艺设备群中的作业时间、 等待时间和停滞时间的平均值并将所 述作业时间、 所述 等待时间和所述停滞时间的平均值相加形成第一辅助生产周期。 3.如权利要求2所述的半导体动态生产周期数据收集方法， 其特征在于： 步骤22中， 所 述辅助生产周期包括第二辅助生产周期， 采用如下分步骤得到： 步骤22b、 根据所述第一数据集的数据计算各相同的所述工艺阶段的所有所述产品在 相同工艺设备群中的作业时间、 等待时间和停滞时间的平均值并将所述作业时间、 所述等 待时间和所述停滞时间的平均值相加形成第二辅助生产周期， 所述第一辅助生产周期的优 先等级大于所述第二辅助生产周期的优先等级。 4.如权利要求3所述的半导体动态生产周期数据收集方法， 其特征在于： 步骤22中， 所 述辅助生产周期包括第三辅助生产周期， 采用如下分步骤得到： 步骤22c、 根据所述第一数据集的数据计算所有所述产品在相同工艺设备群中的作业 时间、 等待时间和停滞时间的平均值并将所述作业时间、 所述等待时间和所述停滞时间的 平均值相加形成第三辅助生产周期， 所述第二辅助生产周期的优先等级 大于所述第三辅助 生产周期的优先等级。 5.如权利要求1所述的半导体动态生产周期数据收集方法， 其特征在于： 步骤一中， 所 述历史出货记录包括： 所述工艺平台、 产品名称、 工件名、 工艺流程、 所述工艺设备群、 工艺 阶段、 工序顺序、 数量、 所述作业时间、 所述 等待时间和所述停滞时间。 6.一种半导体动态生产周期数据收集装置， 其特 征在于， 包括：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115481982 A 2数据准备模块， 用于获取生产线上各已作业工件在各工序 上作业的历史出货记录并形 成第一数据集； 生产周期计算模块， 用于实现： 根据所述第一数据集的数据计算相同产品在各相同工艺阶段的相同工艺设备群中的 作业时间、 等待时间和停滞时间的平均值并将所述作业时间、 所述等待时间和所述停滞时 间的平均值相加形成第一 生产周期； 根据所述第 一数据集的数据并变换所述产品、 工艺平台或所述工艺阶段计算相同的所 述工艺设备群的作业时间、 等待时间和停滞时间的平均值并将所述作业时间、 所述等待时 间和所述停滞时间的平均值相加形成辅助生产周期； 生产周期融合模块， 用于实现： 按照优先填充原则进行生产周期融合得到未作业工件在各工序上的生产周期预测值； 所述优先填充原则是按照所述产品、 所述工艺平台、 所述工艺阶段和所述工艺设备群 中的类型相同数量的多少来确定， 类型相同数量越多、 优先等级越高， 所述第一生产周期具 有最高优先等级； 对于所述未作业工件的一个所述工序， 存在所述第一生产周期时， 采用所述第一生产 周期作为所述生产周期预测 值； 不存在所述第一生产周期时， 按照所述优先填充原则选定 所述辅助生产周期作为所述 生产周期预测值。 7.如权利要求6所述的半导体动态生产周期数据收集装置， 其特征在于： 所述辅助生产 周期包括第一辅助生产周期， 采用如下分步骤得到： 根据所述第一数据集的数据计算相同所述工艺平台的所有所述产品在各相同的所述 工艺阶段的相同工艺设备群中的作业时间、 等待时间和停滞时间的平均值并将所述作业时 间、 所述等待时间和所述停滞时间的平均值相加形成第一辅助生产周期。 8.如权利要求7所述的半导体动态生产周期数据收集装置， 其特征在于： 所述辅助生产 周期包括第二辅助生产周期， 采用如下分步骤得到： 根据所述第一数据集的数据计算各相同的所述工艺阶段的所有所述产品在相同工艺 设备群中的作业时间、 等待时间和停滞时间的平均值并将所述作业时间、 所述等待时间和 所述停滞时间的平均值相加形成第二辅助生产周期， 所述第一辅助生产周期的优先等级 大 于所述第二辅助生产周期的优先等级。 9.如权利要求8所述的半导体动态生产周期数据收集装置， 其特征在于： 所述辅助生产 周期包括第三辅助生产周期， 采用如下分步骤得到： 根据所述第 一数据集的数据计算所有所述产品在相同工艺设备群中的作业 时间、 等待 时间和停滞时间的平均值并将所述作业时间、 所述等待时间和所述停滞时间的平均值相加 形成第三辅助生产周期， 所述第二辅助生产周期的优先等级 大于所述第三辅助生产周期的 优先等级。 10.如权利要求6所述的半导体动态生产周期数据收集装置， 其特征在于： 所述历史出 货记录包括： 所述工艺平台、 产品名称、 工件名、 工艺流程、 所述工艺设备群、 工艺阶段、 工序 顺序、 数量、 所述作业时间、 所述 等待时间和所述停滞时间。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115481982 A 3