(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211002253.3 (22)申请日 2022.08.21 (71)申请人 吉姆西半导体科技 （无锡） 有限公司 地址 214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇 优谷产业园45、 51号 (72)发明人 孙永胜　李松松　祁志明　李杰　 (74)专利代理 机构 深圳市广诺专利代理事务所 (普通合伙) 44611 专利代理师 王嘉佩 (51)Int.Cl. B08B 3/12(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 21/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) H01L 21/673(2006.01) (54)发明名称 一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗 机 (57)摘要 本发明涉及一种晶圆加工用复合清理式转 运花篮清洗机， 包括机皿， 所述机皿的左右两端 壁均开设有清洗槽， 且清洗槽的端壁安装有槽连 口， 所述机皿靠近槽连口的一侧内部安装有泵 体。 本发明的有益效果是： 该晶圆加工用复合清 理式转运花篮清洗机， 通过存篮的内腔， 可存放 待清洗的晶圆花篮， 而篮网的通透性， 使存篮在 浸入清洗槽的水液中后， 水液可充分的与存篮接 触， 而通过超声频电源驱动的换能器运行时， 对 清洗槽内进行超声波冲洗， 使花篮上顽固的污垢 被打散， 进而充分且彻底的对花篮进行清洗清 理， 同时连杆、 存篮以及吊杆、 连杆均相固定， 使 吊杆、 连杆 以及存篮构成一体， 方便同步同时转 动、 移动。 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 CN 115382842 A 2022.11.25 CN 115382842 A 1.一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机， 包括机皿(1)， 其特征在于： 所述机皿 (1)的左右两端壁均开设有清洗槽(2)， 且清洗槽(2)的端壁安装有槽连口(3)， 所述机皿(1) 靠近槽连口(3)的一侧内部安装有泵体(4)， 且机皿(1)靠近泵体(4)的一侧端壁安置有外接 口(5)， 所述机皿(1)的前后两端壁均开设有风洗槽(6)， 且机皿(1)靠近风洗槽(6)的一侧内 部开设有风机(7)， 所述机皿(1)靠近风洗槽(6)的端壁开设有导流口(8)， 且风洗槽(6)的端 壁开设有喷孔(9)， 所述风洗槽(6)的底部安装有加热片(10)， 所述机皿(1)的左右两端靠近 清洗槽(2)的内部安装有换能器(11)， 且机皿(1)的中部底部安装有气缸(12)， 所述机皿(1) 的中部开设有滑槽(13)， 且滑槽(13)的内侧安装有电机(14)， 所述电机(14)的顶部安置有 转轴(15)， 且转轴(15)的顶部安装有转切机构(17)， 所述机皿(1)靠近清洗槽(2)和风洗槽 (6)之间开设有添口(16)， 且 添口(16)的端侧开设有添道(22)， 所述添口(16)的顶部安置有 密盖(23)。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机， 其特征在于： 所 述转切机构(17)包括吊杆(18)、 连杆(19)、 存篮(20)和篮网(21)， 所述吊杆(18)的左右两端 底部均安置有连杆(19)， 且连杆(19)的底部安装有存篮(20)， 所述存篮(20)的端壁开设有 篮网(21)。 3.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机， 其特征在于： 所 述吊杆(18)、 连杆(19)之间相固定连接， 且吊杆(18)、 连杆(19)之间相垂直， 同时存篮(20) 设置有两个。 4.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机， 其特征在于： 所 述连杆(19)设置有两个， 且连杆(19)关于吊杆(18)的中心对称分布， 而且连杆(19)、 存篮 (20)之间相固定连接 。 5.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机， 其特征在于： 所 述转轴(15)的顶部与吊杆(18)相固定连接， 且电机(14)、 转轴(15)之间相传动。 6.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机， 其特征在于： 所 述电机(14)、 气缸(12)之间相传动， 同时转轴(15)的竖直中轴线与机皿(1)的竖直中轴线相 重合。 7.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机， 其特征在于： 所 述清洗槽(2)和风洗槽(6)均设置有两个， 且清洗槽(2)和风洗槽(6)均关于机皿(1)的中心 对称分布。 8.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机， 其特征在于： 所 述清洗槽(2)与槽连口(3)相连通， 且槽连口(3)与泵体(4)以及添口(16)均相连通， 而且添 口(16)与密盖(23)之间相螺纹连接 。 9.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机， 其特征在于： 所 述导流口(8)呈凹字形状， 且导流口(8)、 喷孔(9)之间相连通， 而且风机(7)、 喷孔(9)之间相 连通， 同时风洗 槽(6)的底端壁与加热片(10)相固定 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115382842 A 2一种晶圆加工用复合清理式转运 花篮清洗机 技术领域 [0001]本发明涉及晶圆加工技术领域， 具体为一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗 机。 背景技术 [0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅 晶片， 其原始材料是硅， 在芯片制造中应用 及其广泛， 在晶圆加工时， 会此采用晶圆花篮对晶圆进行存储， 晶圆的转运花篮， 使用时间 长了以后， 插槽内会有污垢， 污垢粘到晶圆上会造成后续产品的质量问题， 因此需要定期清 洗花篮。 [0003]在晶圆转运花篮清洗机进行花篮清洗时， 由于一些污垢是因为花篮长时间使用而 产生的， 会牢固的粘结在花篮端壁上， 常规的水洗清洗无法将污垢打碎、 彻底清理， 同时在 清洗后， 无法直接将花篮转动至风干槽内， 进行风干， 导致清洗的花篮在清洗和风干区域之 间无法便捷的切换， 进而清洗时的效率就较为低下， 而且在花篮上残留的锈迹、 霉斑、 色斑 也十分顽固， 常规的清洗结构， 无法对清洗槽内便捷的添加化学无机或有机酸、 除菌剂， 并 将其混匀注入清洗 槽内， 进而使花篮在清洗时不够彻底。 发明内容 [0004]本发明的目的在于提供一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机， 以解决上述 背景技术中提出的在晶圆转运花篮清洗机进 行花篮清洗时， 由于一些污垢 是因为花篮长时 间使用而产生的， 会牢固的粘结在花篮端壁上， 常规的水洗清洗无法将污垢打碎、 彻底清 理， 同时在清洗后， 无法直接将花篮转动至风干槽内， 进行风干， 导致清洗的花篮在清洗和 风干区域之间无法便捷的切换， 进而清洗时的效率就较为低下， 而且在花篮上残留的锈 迹、 霉斑、 色斑也十分顽固， 常规的清洗结构， 无法对清洗槽内便捷的添加化学无机或有机酸、 除菌剂， 并将其混匀注入清洗 槽内， 进而使花篮在清洗时不够彻底。 [0005]为实现上述目的， 本发明提供如下技术方案： 一种晶圆加工用复合清理式转运花 篮清洗机， 包括机皿， 所述机皿的左右两端壁均开设有清洗槽， 且清洗槽的端壁安装有槽连 口， 所述机皿靠近槽连口的一侧内部安装有泵体， 且机皿靠近泵体的一侧端壁安置有外接 口， 所述机皿的前后两端壁均开设有风洗槽， 且机皿靠近风洗槽的一侧内部开设有风机， 所 述机皿靠近风洗槽的端壁开设有导流口， 且风洗槽的端壁开设有喷孔， 所述风洗槽的底部 安装有加热片， 所述机皿的左右两端靠近清洗槽的内部安装有换能器， 且机皿的中部底部 安装有气缸， 所述机皿的中部开设有滑槽， 且滑槽的内侧安装有电机， 所述电机的顶部安置 有转轴， 且转轴的顶部安装有转切机构， 所述机皿靠近清洗槽和风洗槽之 间开设有 添口， 且 添口的端侧开设有添道， 所述添口 的顶部安置有密盖 。 [0006]优选的， 所述转切机构包括吊杆、 连杆、 存篮和篮网， 所述吊杆的左右两端底部均 安置有连 杆， 且连杆的底部安装有存篮， 所述存篮的端壁 开设有篮网。 [0007]优选的， 所述吊杆、 连杆之间相固定连接， 且吊杆、 连杆之间相垂直， 同时存篮设置说　明　书 1/5 页 3 CN 115382842 A 3