T/GDCKCJH 046—2021 ICS 17.120.01 CCS N 68 氦质谱检漏仪性能要求与检测方法 Performance requirements and test method for helium mass spectrometer leak detector 2021-12-17发布 2021-12-17实施 广东省测量控制技术与装备应用促进会 发 布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/GDCKCJH 046 —2021 I 目 次 前言.. ............................................................................. Ⅱ 1 范围 ............................................................................. 1 2 规范性引用文件 ................................................................... 1 3 术语和定义 ....................................................................... 1 4 性能要求 ......................................................................... 2 5 检测方法 ......................................................................... 2 6 检测结果表述 ..................................................................... 4 附录A (资料性) 检测报告内容及内页格式 .............................................. 6 附录B (资料性) 检测报告记录格式 .................................................... 7 全国团体标准信息平台 T/GDCKCJH 046 —2021 II 前 言 氦质谱检漏仪目前尚无国家标准、 行业标准和检测规范， 为规范该仪器的性能要求和检测方法， 参考GB/T 13979 -2008《质谱检漏仪》等制订本文件，作为仪器生产和检测依据。 本文件按照 GB/T 1.1 —2020《标准化 工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的 规定起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由广东省测量控制技术与装备应用促进会提出并归口。 本文件起草单位：深圳天溯计量检测股份有限公司、深圳市中测计量检测技术有限公司、深圳 市华溯智慧计量研究院。 本文件主要起草人： 刘洪华、冯周、刘浩、汤文广、彭水勇、曾宏勋、石霞、邓军、许亮、赖海 梁、彭强、高磊、廖桃兴、谭贝、李尚虹、王刚、张勇、颜训雄、曾海钦、肖岩、刘春平。 本文件为首次发布。 全国团体标准信息平台 T/GDCKCJH 046 —2021 1 氦质谱检漏仪性能要求与检测方法 1 范围 本文件规定了氦质谱检漏仪( 以下简称检漏仪) 的术语和定义、性能要求及检测方法。 本文件适用于以质谱分析法作为检测手段的检漏仪性能检测，其他检漏仪可参考使用。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用 文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本 (包括所有的修改单) 适用于本文件。 GB/T 13979- 2008 质谱检漏仪 JJF 1001 -2011 通用计量术语及定义 JJF 1833 真空氦漏孔校准规范 3 术语和定义 GB/T 13979—2008、 JJF 1001 -2011界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 漏孔 leak 当密闭的容器内部与外部的气体压力或浓度不同时，可以使气体由器壁的一侧泄漏到另一侧去 的小孔、缺陷或隙缝以及渗透元件或漏气装置。 [来源：JJF 1008- 2008，11.31] 3.2 漏率 leak rate 在规定条件下，一种特定气体通过漏孔的流量，漏率的单位：Pa· m³/s 。 3.3 真空氦漏孔 vacuum helium leak 使用氦气作为示踪气体、出气口压力低于 lkPa 条件下检测所使用的漏孔。 3.4 氦质谱检漏仪 helium mass spectrometer leak detector 以氦作为示漏气体，调正到对氦起灵敏反应的专门用作检查漏隙的质谱仪。 [来源：JJF 1008- 2008，11.38] 全国团体标准信息平台 T/GDCKCJH 046 —2021 2 4 性能要求 可由客户提供技术要求或依据说明书中技术要求进行检测。客户不能提供技术要求的，推荐采 用以下技术要求： a) 氦质谱检漏仪测量漏率值的示值误差：±60% ； b) 氦质谱检漏仪测量漏率值的重复性：≤15%； c) 漏率值测量范围一般为：( 10-13～10-5)Pa·m³/s。 5 检测方法 5.1 检测环境条件 检测环境条件如下： a) 检测环境温度为( 23±5)℃，检测过程中室温变化不超过±1 ℃； b) 环境相对湿度不大于 80%RH； c) 大气压力：86 kPa～106 kPa； d) 检测设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。 5.2 标准计量器具 标准器采用渗氦型标准漏孔，漏率标称值在( 10-13～10-5)Pa·m³/s，并依据 JJF 1833 进行校准， 漏率不确定度不大于 20%(k=2)。 5.3 检测程序 5.3.1 检测系统的组成 检测系统由真空标准漏孔、漏孔截止阀及氦质谱检漏仪组成。如图 1所示。 12 3 4 5 67 8 9 1 氦质谱检漏仪 ；2,5,6,9 标准漏孔 ；3,4,7,8 截止阀 图1 检测系统示意图 全国团体标准信息平台 T/GDCKCJH 046 —2021 3 5.3.2 漏率值检测 5.3.2.1 示值误差 通电预热稳定后，采用标准漏孔对氦质谱检漏仪进行检测，将每一经过检测的标准漏孔分别接 入氦质谱检漏仪系统，运行氦质谱检漏仪，待稳定后，可以读出标准漏孔漏率的检漏仪示值，同一 标准漏孔测量三次，计算检漏仪示值平均值，从而得到标准漏孔漏率值与检漏仪示值平均值的示值 误差。结束后，将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入氦质谱检漏仪系统进行测试，得到氦质谱 检漏仪在每一量级下漏率值的示值误差。 5.3.2.2 重复性 本检测方法釆用极差法来表征重复性。 在示值误差测量中，每一标准漏孔用氦质谱检漏仪重复测量三次，按 5.3.3中公式(4)计算氦质 谱检漏仪在该漏率值下的重复性。 5.3.3 数据处理 5.3.3.1 标准漏孔漏率值的温度修正 标准漏孔的漏率值受温度影响较大，当环境温度与标准漏孔计量证书中温度不一致时，应对漏 率标称值进行温度修正。修正公式如下： [ ]0 1( )xpQ Q TT α = +− (1) 式中： xQ——温度修正后的标准漏孔漏率值， Pa·m³/s； pQ——标准漏孔漏率值， Pa·m³/s； T——检测环境的温度，℃； 0T——标准漏孔校准温度，℃； α——标准漏孔温度变化系数，% /℃。 5.3.3.2 漏率值示值误差计算 漏率值示值误差计算公式如下： ()bx xQQEQ−= (2) 全国团体标准信息平台 T/GDCKCJH 046 —2021 4 11n bi iQQn==∑ (3) 式中： E——漏率值示值误差，% ； bQ——氦质谱检漏仪示值平均值 ，Pa ·m³/s； iQ——氦质谱检漏仪示值 ，Pa ·m³/s。 5.3.3.3 漏率示值重复性计算 漏率示值重复性计算公式如下： max min() xQQsCQ−=⋅ (4) 式中： s ——漏率值重复性，% ； maxQ——氦质谱检漏仪测量最大漏率值， Pa·m³/s； minQ——氦质谱检漏仪测量最小漏率值， Pa·m³/s； C ——极差系数，测量次数 n为3时，C=1.64。 6 检测结果表述 检测结果至少包括以下信息： a) 标题： “检测报告” ； b) 实验室名称和地址； c) 进行检测的地点( 如果与实验室的地址不同) ； d) 证书的唯一性标识( 如编号)，每页及总页数的标识； e) 客户的名称和地址或联系方式； f) 被校对象的描述和明确标识； g) 进行检测的日期和报告的出具日期，如果