YS-T 1601-2023 六氯乙硅烷中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

ICS 77. 040 YS CCS H 17 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1601—2023 六氯乙硅烷中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法 Determination of impurity content in hexachlorodisilane- Inductively coupled plasma mass spectrometry 2023-11-01实施 2023-04-21发布中华人民共和国工业和信息化部发布 YS/T1601—2023 前言本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。本文件起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、新特能源股份有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、四川永祥多晶硅有限公司、新疆大全新能源股份有限公司。本文件主要起草人：严大洲、万烨、赵雄、曹俊英、徐家扬、刘凤华、刘允许、邱艳梅、刘国霞、魏东亮、王彬、甘居富、李寿琴、于生海。

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