ICS17.040.30 CCSJ42 中华人民共和国国家标准 GB/T43915—2024 纳米几何量标准样板测试方法 Testingmethodfornanogeometricstandardsamples 2024-04-25发布 2024-11-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布 目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 测试方法分类及原理 1 …………………………………………………………………………………… 4.1 纳米线间隔标准样板测试方法分类及原理 1 ……………………………………………………… 4.2 纳米线宽标准样板测试方法分类及原理 2 ………………………………………………………… 4.3 纳米台阶高度标准样板测试方法分类及原理 2 …………………………………………………… 4.4 纳米膜厚标准样板测试方法分类及原理 3 ………………………………………………………… 5 测试设备 5 ………………………………………………………………………………………………… 5.1 设备选择 5 …………………………………………………………………………………………… 5.2 设备要求 5 …………………………………………………………………………………………… 6 测试环境 6 ………………………………………………………………………………………………… 7 测试程序 6 ………………………………………………………………………………………………… 7.1 外观 6 ………………………………………………………………………………………………… 7.2 纳米线间隔标准样板测试 6 ………………………………………………………………………… 7.3 纳米线宽标准样板测试 6 …………………………………………………………………………… 7.4 纳米台阶高度标准样板测试 6 ……………………………………………………………………… 7.5 纳米膜厚标准样板测试 7 …………………………………………………………………………… 8 测试数据处理 7 …………………………………………………………………………………………… 8.1 纳米线间隔标准样板测试数据处理 7 ……………………………………………………………… 8.2 纳米线宽标准样板测试数据处理 7 ………………………………………………………………… 8.3 纳米台阶高度标准样板测试数据处理 7 …………………………………………………………… 8.4 纳米膜厚标准样板测试数据处理 7 ………………………………………………………………… 附录A(资料性) 标准样板测试记录 9 …………………………………………………………………… 参考文献 10 …………………………………………………………………………………………………… ⅠGB/T43915—2024