ICS13.040.35 CCSC70 中华人民共和国国家标准 GB/T36066—2025 代替GB/T36066—2018 洁净室及相关受控环境 检测技术要求与应用 Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments— Technicalrequirementsandapplicationoftesting 2025-04-25发布 2025-11-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 引言 Ⅳ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 检测项目与相关应用领域 2 ……………………………………………………………………………… 5 技术要求 3 ………………………………………………………………………………………………… 6 应用 5 ……………………………………………………………………………………………………… 附录A(资料性) 洁净室及相关受控环境其他检测项目 6 ……………………………………………… 附录B(资料性) 洁净室及相关受控环境性能检测仪器、仪表技术指标 7 ……………………………… 附录C(资料性) 洁净室及相关受控环境检测技术方案制定流程 10 …………………………………… 附录D(资料性) 洁净室及相关受控环境性能检测项目的检测方法及应用 11 ………………………… 附录E(资料性) 洁净室及相关受控环境性能检测项目数据偏离指标限值原因 14 …………………… 参考文献 17 …………………………………………………………………………………………………… ⅠGB/T36066—2025